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Himega可去除半導(dǎo)體和液晶所需的45 nm或更小的超細(xì)顆粒 - 清洗Si晶圓,GaAs等
- 清洗液晶玻璃
- 清潔玻璃面膜
- 清潔硬盤
- 清潔水晶單元
- 清洗薄膜磁頭
- 清潔脆性材料等
- 其他超精密清潔
- 0.1 W可設(shè)置功率。實(shí)現(xiàn)高功率穩(wěn)定性。**的輸出控制,輕松實(shí)現(xiàn)無(wú)損傷清潔!(對(duì)應(yīng)200 kHz或更高)
- 通過(guò)選擇四種特殊振蕩模式,可以實(shí)現(xiàn)比以往更高精度的**清潔。
- 可以在啟動(dòng)/關(guān)閉時(shí)設(shè)置速度。
- QUAVA系列與Himegasonic系列兼容,通過(guò)更換振蕩器可以提高清潔性能。
- 它比前Himega 78101型小81%,重量也減少到17公斤并且稱重!
- 尺寸為標(biāo)準(zhǔn)尺寸,可存放在19英寸機(jī)架中。
- 原則上,不需要對(duì)換能器進(jìn)行更換(無(wú)匹配)。
- 由于電源是自由電源系統(tǒng),因此不受工廠電源電壓波動(dòng)的影響。
- 由于它對(duì)應(yīng)于10種頻率,因此可以通過(guò)稍后更換換能器來(lái)改變頻率。
- 一個(gè)大號(hào)的P.O. Z. T振動(dòng)元件,沒(méi)有清潔不均勻。
- 功率密度非常高,清潔能力**。(至大約5.4 W / cm 2)
- 它厚實(shí),機(jī)械強(qiáng)度高,壽命長(zhǎng),安裝在洗滌槽中是**的。
- 它效率很高,聲學(xué)損失很小。
- 元素接縫很少,可以預(yù)期至佳的清潔效果。
- 材料可用于3種類型的SU 304,316和316L。
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- 商業(yè)化石英超聲波浴,振動(dòng)器直接粘附在石英槽上。與傳統(tǒng)的雙罐型相比,可以照射強(qiáng)大的超聲波(超過(guò)我們公司的1.2倍)。這只是Kaijo的技術(shù)。
- 根據(jù)工作溶液溫度,有兩種類型的對(duì)應(yīng)關(guān)系:常溫(至高50°C)和高溫(至高80°C)。
- 我們還將生產(chǎn)不銹鋼罐。
這是一臺(tái)高頻洗衣機(jī),展示了其在超精密清潔方面的強(qiáng)大功能。它可用于去除超細(xì)顆粒,如半導(dǎo)體晶片,液晶和HDD。高頻(750 kHz,950 kHz)的超聲波清洗主要在加速時(shí)進(jìn)行清洗。因此,很少產(chǎn)生空化。它有效地解決了由空化腐蝕(損壞)和駐波引起的清潔不規(guī)則性。
使用
振蕩器的特性
※注意:額定輸出為26 kHz,38 kHz為600 W.
振蕩器規(guī)格
項(xiàng)目
規(guī)范
額定輸出
1200 W *
振蕩頻率
26 kHz / 38 kHz / 78 kHz / 100 kHz / 130 kHz / 160 kHz / 200 kHz / 430 kHz / 750 kHz / 950 kHz
(通過(guò)選擇換能器進(jìn)行更改)
振蕩模式
PLL振蕩/固定振蕩/ A模式振蕩/ B模式振蕩
電源
電流
10 A.
電壓
AC 200 V至240 V(±10%1Φ50/ 60 Hz)
外部尺寸
430(寬)x 418(長(zhǎng))x 148(高)
重量
17公斤
主要功能
遠(yuǎn)程模式
8步輸出
RS485通訊
輸出端子異常
模擬輸出(監(jiān)控輸出)
0至5 V(標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置)或4至20 mA(出廠時(shí)可切換)
隔膜功能
隔膜規(guī)格
規(guī)范
晶圓6
膜片規(guī)格
晶圓8
隔膜規(guī)格
晶圓12
膜片規(guī)格
型號(hào)名稱
型號(hào)7857S
型號(hào)8857S
98SL型
允許輸入
300 W x 4
300 W x 6
300 W x 16
頻率
950 kHz
950 kHz
750 kHz
振動(dòng)輻射面(mm)
136×163
165 x 215
275 x 319
隔膜材料
SU 316 L
SU 316 L
SU 316 L
振動(dòng)的身體
PZT
PZT
PZT
至高使用溫度
70°C
70°C
70°C
外形尺寸
(寬x深x高mm)
185 x 215 x 55
255×305×55
410 x 340 x 65
安裝方法
螺栓固定
螺栓固定
螺栓固定
清洗槽功能