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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科干法蝕刻設(shè)備重慶出售

  • 產(chǎn)品型號:APIOS NE-950EX
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
蝕刻裝置 干法蝕刻設(shè)備 APIOS NE-950EX
詳情介紹:
蝕刻裝置

干法蝕刻設(shè)備APIOS NE-950EX

量產(chǎn)的 LED 用干法蝕刻設(shè)備“NE-950EX”與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,生產(chǎn)率提高了 140%。它是配備ICP高密度等離子源和ULVAC**星形電極的干法蝕刻設(shè)備。

特征

  • 實現(xiàn)高生產(chǎn)率(與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比提高 140%)。
    4英寸晶圓可以同時批處理7個晶圓,6英寸晶圓可以同時批處理3個晶圓。
    29 個小直徑 2 英寸晶圓和 12 個 3 英寸晶圓是可能的。
  • 配備了擁有超過 600 種化合物半導(dǎo)體的跟蹤記錄的磁場 ICP (ISM * 1) 高密度等離子體源。
  • 實現(xiàn)高生產(chǎn)率(與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比提高 140%)。
    * 1: ULVAC **號 3188353
  • 配備了 ULVAC *初開發(fā)的星形電極 *2,以防止 RF 輸入窗口上出現(xiàn)污垢。
  • 實現(xiàn)高生產(chǎn)率(與我們的傳統(tǒng)產(chǎn)品相比提高 140%)。
    * 2: ULVAC **號 3492391
  • 通過徹底的倉庫措施實現(xiàn)了可維護(hù)性、長期穩(wěn)定性和可靠性的硬件。
  • 工藝應(yīng)用豐富的干法刻蝕技術(shù)(GaN、藍(lán)寶石、各種金屬、ITO、SiC、AlN、ZnO、四元化合物半導(dǎo)體材料等)。
  • 豐富的可選功能。

采用

  • LED、藍(lán)寶石、各種金屬、ITO等用GaN的各種干法刻蝕。
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渝公網(wǎng)安備 50019002501360號

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