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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本ULVAC干法蝕刻設(shè)備重慶出售

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NLD-5700
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
蝕刻裝置 用于光學(xué)器件和 MEMS 的 干法蝕刻設(shè)備 NLD-5700
詳情介紹：
蝕刻裝置

用于光學(xué)器件和 MEMS 的
干法蝕刻設(shè)備NLD-5700

用于光學(xué)器件和 MEMS 的干法刻蝕設(shè)備 NLD-5700 是配備磁中性線等離子體 (NLD) 源的量產(chǎn)干法刻蝕設(shè)備。（使用 ULVAC *初開發(fā)的磁中性線等離子體 (NLD) 配備低電壓、低電子溫度和高密度等離子體的干法蝕刻設(shè)備。）

特征

  • 通過在無塵室工作，可擴(kuò)展至 2 個(gè)房間（NLD、磁場(chǎng) ICP、CCP 和灰化室）。
  • NLD是一種可以控制空間和時(shí)間的等離子體，所以干洗很容易。
  • 實(shí)現(xiàn)輕松的腔室維護(hù)。
  • 我們提供從掩模蝕刻到石英/玻璃蝕刻的工藝解決方案。
  • 由半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供的完整工藝支持體系。

采用

  • 光學(xué)器件（衍射柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、凹凸微透鏡。
  • 流體路徑創(chuàng)建 (μ-TAS) 和光子晶體。
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渝公網(wǎng)安備 50019002501360號(hào)
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