主營(yíng)產(chǎn)品:
光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文 具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
批量式干法蝕刻設(shè)備
ULDEX-1600
詳情介紹：
ULDEX-1600是一種太陽能電池硅基板，它是一種提供引入蝕刻氣體并利用高頻功率形成表面凹凸結(jié)構(gòu)的工藝的器件。通過在硅基板的表面形成低反射的凹凸結(jié)構(gòu)，可以提高太陽能電池的光吸收率，有助于提高電池轉(zhuǎn)換效率。
特征
- 高產(chǎn)量：4000pcs./hr
- 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單：腔內(nèi)無驅(qū)動(dòng)
- 維護(hù)簡(jiǎn)單
采用
- 單晶硅襯底
- 多晶硅襯底
- 類單晶硅板
規(guī)格
| ULDEX-1600 | ||
| 晶圓尺寸 (mm) | □ 156 | |
| 托盤安裝數(shù)量（□ 156mm） | 100 件。 | |
| 房間組成 | 1) 工藝室 | 2 間客房 |
| 2) 傳送機(jī) | 選項(xiàng) | |
| 吞吐量 | 4000（ULVAC 標(biāo)準(zhǔn)條件） | |
