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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱(chēng):日本SIMCO思美高除靜電離子發(fā)生器4214

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 產(chǎn)品廠商:日本SIMCO
  • 產(chǎn)品價(jià)格:0
  • 折扣價(jià)格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
4214 型離子發(fā)生器即使在高純度 N2 環(huán)境下也支持“擴(kuò)展 ISO 1 級(jí),10nm”的高清潔度,并實(shí)現(xiàn)出色的離子平衡。
詳情介紹:

特征

超低顆粒負(fù)載 采用單晶硅電極。
獨(dú)特的不向外界釋放顆粒的清潔機(jī)制,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定的清潔度
采用智能控制電路,無(wú)需任何調(diào)節(jié)
內(nèi)置傳感器持續(xù)監(jiān)控離子產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)可靠的靜電消除
控制器,電源 內(nèi)置集成緊湊型設(shè)計(jì)
自動(dòng)高壓關(guān)斷功能可在低流量時(shí)保護(hù)產(chǎn)品
非常適合先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝和其他超低顆粒應(yīng)用
 24V 直流驅(qū)動(dòng)

規(guī)格

輸入電壓 24V DC+/-5% 6W(典型值)
離子平衡 <+/-25V 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接
靜電消除時(shí)間 <10sec 150mm 距離 40LPM 無(wú)管道連接
+/-1kv → +/- 100v 通過(guò)充電板監(jiān)視器
離子發(fā)生方式 電暈放電型 高頻交流型
清潔度 ISO Class1,0.1 微米
“擴(kuò)展 ISO Class1,10nm”*
電極 單晶硅可替代
兼容的吹掃氣體 氮?dú)?> 99.998%
流量 40LPM(36.5Kpa)~90LPM(171kpa)
*大吹掃壓力 207Kpa(=100LPM流量)
*高氣體溫度 60℃
N2 吹掃連接 Swagelok3/8" 外徑管道
電離 N2 連接
世偉洛克 1/2"OD 管道連接,帶 1/4NPT 內(nèi)螺紋連接器或可選接頭28-25710-SC
工作溫度限制 15~60℃
信號(hào)輸出 開(kāi)/關(guān)觸點(diǎn)報(bào)警和離子滴輸出
尺寸 長(zhǎng)152.4mm x 寬72.4mm x 深32mm
(不包括管道)
重量 640克
外部的 不銹鋼
安裝方法 背面M5螺絲 螺絲長(zhǎng)度必須小于10mm
擴(kuò)展的 ISO 1 級(jí) 10nm
是 ION Systems 獨(dú)立確定的清潔度定義,以支持微小顆粒管理。ISO14644-1定義*小粒徑為100nm。擴(kuò)展ISO Class 1,10nm采用與ISO14644-1相同的計(jì)算允許顆粒數(shù)的公式,對(duì)于直徑10nm以上的顆粒,允許顆粒數(shù)為1200pc/m3(34 pc/ft3)。
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