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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:TOPCON拓普康 半導體表面検査裝置 WM-10 重慶內(nèi)藤銷售

  • 產(chǎn)品型號:WM-10
  • 產(chǎn)品廠商:TOPCON拓普康
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
TOPCON拓普康 半導體表面検査裝置 WM-10 重慶內(nèi)藤銷售 TOPCON拓普康 半導體表面検査裝置 WM-10 重慶內(nèi)藤銷售 TEL:18375760285 QQ:1280713150 白先生
詳情介紹:


產(chǎn)品概述

晶片表面檢查裝置WM-10對應6-8英寸或8到12英寸的晶片,它可以是裸露的(裸)粒子測定與48納米的硅晶片的高靈敏度。裝備有世界上第紫(藍紫色半導體)激光器作為光源,一個擁有*佳的性能和在65?90nm工藝節(jié)點壓倒性性能價格比**模型。
產(chǎn)品功能
65?90 nm工藝節(jié)點實現(xiàn)48 nm的*大檢測靈敏度,適用于批量生產(chǎn)和原型設計
世界上**個大功率Violet-LD采用實現(xiàn)了運行成本的顯著降低
業(yè)界*快的吞吐量
業(yè)界*小的小尺寸(12英寸兼容機)
通過安裝2軸光學系統(tǒng),可以實現(xiàn)微小劃痕(微小缺陷)的缺陷分離
準備了各種選項,如自動靈敏度校正功能,COP分離,F(xiàn)OUP等


主要規(guī)格

  ? 光源  紫羅蘭色LD(藍紫色半導體激光)
  ? 檢測/掃描方法  散射光檢測/螺旋掃描方法
  ? *大檢測靈敏度  48納米*裸晶片
  ? 重現(xiàn)性  σ/X≤1%×99%以上
  ?進行檢查  裸晶片,帶電影的晶圓
 相應的晶圓尺寸  12/8英寸,或8/6英寸
 設備尺寸W×D×H  1,482×1,173×1,950毫米
 重量  900公斤

 

主要選項

 ■自動靈敏度校正功能
 ■霧度測量功能
 ■地圖疊加功能
 ■雙晶片端口
 ■4英寸晶圓轉(zhuǎn)移
 ■XY坐標輸出軟件(通訊)
 ■**通訊軟件



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