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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：重慶成都熱銷優(yōu)勢產(chǎn)品magnescale索尼線性西南地區(qū)客戶資源共享

  • 產(chǎn)品型號：BS78
  • 產(chǎn)品廠商：magnescale索尼
  • 產(chǎn)品價格：0
  • 折扣價格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
重慶成都熱銷優(yōu)勢產(chǎn)品magnescale索尼線性西南地區(qū)客戶資源共享 重慶成都熱銷優(yōu)勢產(chǎn)品magnescale索尼線性西南地區(qū)客戶資源共享
詳情介紹：


特點

在實現(xiàn)高速和高分辨率的同時，實現(xiàn)了穩(wěn)定的超**測量。適用于精密平臺，半導體檢測/制造設備，超精密加工機器等。

  • 超過光波干涉儀的信號波長138 nm的高分辨率比例
  • 高穩(wěn)定性不受濕度，壓力，空氣擾動的影響
  • 原點精度：±0.1μm
  • 精度：±0.04μm或更?。ㄓ行чL度40 mm）
  • 完全非接觸原理不發(fā)生返回錯誤
  • 有效長度：40至420毫米，9種類型（-R / -RS）
  • 有效長度：10至420毫米，10種類型（-N / -NS）
  • 真空，非磁性兼容（特殊規(guī)格）
  • 使用低伸長率玻璃：-0.7×10 -6 /°C（有效長度：10至420 mm）

規(guī)格

主要規(guī)格

半導體激光器用于激光刻度。由于激光對人體有害，請不要查看檢測頭部分。

描述內(nèi)容如有更改，恕不另行通知。

型號名稱 BS 78
有效長度：L（mm） 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420（10 N / NS只）
比例總長度 58 mm（有效長度10 mm：懸臂型）有效長度+ 26 mm（有效長度40至420 mm）
*大可移動長度 有效長度+2毫米（有效長度10毫米：懸臂型）的有效長度+10毫米（有效長度40?420mm）大小的
精度（20°C時）
  • NS型/ RS型：
  • ±0.03μm（有效長度10 mm）（**NS型）
  • ±0.04μm（有效長度40 mm）
  • ±0.10μm（有效長度70/120 mm）
  • ±0.18μm（有效長度170/220 mm）
  • ±0.25μm（有效長度270 mm）
  • ±0.34μm（有效長度320 mm）
  • ±0.39μm（有效長度370 mm）
  • ±0.44μm（有效長度420 mm）
  • N型，R型：
  • ±0.06μm（有效長度10 mm）（**N型）
  • ±0.08μm（有效長度40 mm）
  • ±0.20μm（有效長度70/120 mm）
  • ±0.35μm（有效長度170/220 mm）
  • ±0.50μm（有效長度270至370 mm）
  • ±0.65μm（有效長度420 mm）
光柵間距 約0.55μm
信號波長 約0.138μm（約138 nm）
原點精度 ±0.1μm（**R / RS型）
原點位置 中部和每個50毫米各自從中心向左側(cè)和右側(cè)（在有效長度僅50毫米間距320,370,420Mm偏離中心20mm）的
原點檢測方向 一種方式
返回錯誤 原則上沒有。
重復性 原則上沒有。
溫度膨脹系數(shù) -0.7×10 -6 /°C
光源 半導體激光波長790 nm輸出6 mW
輻射功率 DHHS 1級
檢測方法 衍射光柵掃描類型
工作溫度范圍 10℃~30℃（非冷凝）
儲存溫度范圍 -10℃至50℃（濕度60％或更低）
*大響應速度 400 mm / s（連接BD 96時）


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渝公網(wǎng)安備 50019002501360號
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