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特點
實現(xiàn)了高分辨率和穩(wěn)定的超精密長度測量。高精度·開放式激光刻度,內(nèi)置原點
- 信號波長:138nm
- 內(nèi)置高精度原點精度:±0.1μm
- 刻度有效長度:9種型號,160至960 mm
-
類似于激光光波干涉儀的高精度,高分辨率
- 精度:(0.1 + 0.4 L / 100)μmp-p(L <460 mm)
- L:有效長度(mm)
- 易于處理和可靠性與magnescale(安裝和調(diào)整)相當
- 對氣流和壓力變化穩(wěn)定
- 藍色玻璃板使用:8×10 -6 /°C(有效長度:160至960 mm)
- 主要應用:半導體制造設備,檢測設備,精密加工設備,精密測量設備·試驗機等
規(guī)格
主要規(guī)格 | ||
---|---|---|
半導體激光器用于激光刻度。由于激光對人體有害,請不要查看檢測頭部分。 描述內(nèi)容如有更改,恕不另行通知。 |
||
有效長度:L(mm) | 160/260/360/460/560/660/760/860/960 | |
比例總長度 | 有效長度+ 36毫米 | |
*大可移動長度 | 有效長度+ 10毫米(每側(cè)5毫米) | |
精度(20°C時) | L <460:(0.1 + 0.4 L / 100)μmp - pL≥460:3μmp - p L:有效長度(mm) | |
光柵間距 | 約0.55μm | |
信號波長 | 約0.138μm(約138 nm) | |
原點精度 | ±0.1μm | |
原點位置 | 從中心到中心,每個50毫米左右 | |
原點檢測方向 | 一種方式 | |
返回錯誤 | 原則上沒有。 | |
重復性 | 原則上沒有。 | |
溫度膨脹系數(shù) | 8×10 -6 /°C | |
光源 | 半導體激光波長790 nm輸出6 mW | |
輻射功率 | DHHS 1級 | |
檢測方法 | 衍射光柵掃描類型 | |
工作溫度范圍 | 10℃~30℃(非冷凝) | |
儲存溫度范圍 | -10°C至50°C(溫度60%或更低) | |
*大響應速度 | 400 mm / s(連接BD 96時) |
西部代理magnescale索尼西南代理magnescale索尼四川代理magnescale索尼成都代理magnescale索尼自貢magnescale索尼攀枝花magnescale索尼瀘州magnescale索尼德陽magnescale索尼綿陽magnescale索尼廣元magnescale索尼遂寧magnescale索尼內(nèi)江magnescale索尼樂山magnescale索尼南充magnescale索尼眉山magnescale索尼宜賓magnescale索尼廣安magnescale索尼達州magnescale索尼雅安magnescale索尼巴中magnescale索尼資陽magnescale索尼阿壩藏族羌族自治州magnescale索尼甘孜藏族自治州magnescale索尼涼山彝族自治州magnescale索尼重慶代理magnescale索尼貴州magnescale索尼貴陽magnescale索尼安順magnescale索尼遵義magnescale索尼六盤水magnescale索尼銅仁magnescale索尼畢節(jié)magnescale索尼黔東南州magnescale索尼黔西南州magnescale索尼黔南州magnescale索尼云南代理magnescale索尼昆明代理magnescale索尼昆明magnescale索尼曲靖magnescale索尼玉溪magnescale索尼昭通magnescale索尼保山magnescale索尼麗江magnescale索尼普洱magnescale索尼臨滄magnescale索尼德宏傣族景頗族自治州magnescale索尼怒江傈僳族自治州magnescale索尼大理白族自治州magnescale索尼大理magnescale索尼楚雄magnescale索尼紅河哈尼族彝族自治州magnescale索尼文山壯族苗族自治州magnescale索尼西雙版納傣族自治州magnescale索尼陜西magnescale索尼西安代理magnescale索尼銅川magnescale索尼寶雞magnescale索尼咸陽magnescale索尼渭南magnescale索尼延安magnescale索尼漢中magnescale索尼榆林magnescale索尼安康KEIK東京計器商洛magnescale索尼中國代理magnescale索尼